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第48节（第1页）

“这样我们是不是可以取消掩模板呢？”

郭东提出了一个大胆的设想。

“当然不行，液不能代替掩模板，因为液晶屏是通过光的偏振原理，来实现图像显示的。它根本就不可能实现，高精度光刻，不过我们可以试一试，让液晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。

不过我们必须研究出一种，对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。”

“王所长，这点你们能解决吧！”洪涛先给郭东解释了液晶原理，然后又问王波道。

“没问题。自从研究光刻胶以来，我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，我们已经研究出来了。效果怎么样？要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。

“那太好了，那我们就试试吧！”郭东激动的说道

由于这次用途的特殊原因，他们不需要复杂的液晶技术，只需要第一代液晶技术，即TNLCD。就是简单的黑白屏，白光就是电路图，如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说，也可以留下满意的电路图形。

还有一点与普通的液晶屏不同，这里的背景光源是强光源，他不是给人看的，而是专为掩模板曝光的。

当然缺点也很明显，由于液晶分子的大小原因，精度不够，因此不适合纳米级芯片技术，这是他们后来经过实验，才明白这个道理的。

……

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第109章：画面太美

郭东和他们几人，到了实验车间，郭东作为现场最不懂液晶技术的人，他就问其他几人：“液晶是怎么控制开关的，它又是怎么显示电路图形的？”

“液晶是早在1888年由奥地利植物学家莱尼兹发现的一种在常温下介于固态和液态之间的一种化合物质，由于当时并没有这类物质的称呼，因此他就取名液晶，就是液态固体的意思。

后来，直到1968年，美国RcA公司的沙诺夫研发中心的工程师，发现液晶受电压的影响而改变其排列顺序，他们利用这一现象而发明了第一块液晶屏。

至于怎么显示图形，则是把液晶置于平行的玻璃面板沟槽中，这样的玻璃面板有两块，前后两排沟槽是呈九十度垂直的，这样就构成了一个个的单元格，也就是像素点。在两排沟槽的中间，是呈网状的透明电极。

我们把横向排列的沟槽通电，那么这条沟槽中的液晶它们就会沿沟槽有顺序地排列，这时背景光源就可以通过它们。但是还有一层纵向排列的液晶它们没通电，因此它们是呈混乱排列的，光线还是通不过。如果这时，我们给纵向排列的某一条沟槽通电，那么纵向排列和横向排列相交的一个点，这里光线就可以真正通过了，许多个这样的亮点就构成了图形。

当然真正的液晶技术不会这么简单，但我们现在就只要这么简单的技术就可以了。复杂了反而不好，会影响图像精度。”说到液晶就是王波的菜，因此他小小的向郭东科普了一番。

“原来是这样！这下我明白了。”郭东边说边点头，好像已经完全明白了的样子。

只要使用第一代液晶技术当然很简单，况且他们需要的比第一代技术更简单，因此没有什么难度。他们唯一要解决的是沟槽的精度，使像素点更细密。

不过相对于拥有纳米级加工工艺技术的长胜精工来说，就太简单了。因为沟槽再怎么精密，也只有U米级，这是液晶化合物分子的大小所决定的。

当第一块液晶屏试制出来，在了解了技术细节之后，郭东就感叹说：“看来这项技术的缺点也很明显，它只能达到U米级精度，我们算是白忙活了。”

“也不能这么说，其实日常生活中，低级别的芯片用的是最多的，比如普通的小家电所用的芯片以及普通的工控芯片。我们能减少低级别芯片的工序也是了不得的进步。”这时，权威专家洪涛就站出来给大家打气了。

“唉！好吧！我们先试试吧！还不知道能不能代替激光刻蚀呢？”郭东又发感慨了，真是一个多愁善感的人。

要试很简单，因为不是硅晶圆因此无须无氧环境，只要一间暗室就可以了。暗室也不是真的暗，黄光还是可以的。

他们实验了一下，情况还好，只要掩模板与液晶屏隔得足够近，大概几纳米的样子，光的漫散现象还是不严重。也就是说用液晶屏代替激光蚀刻掩模板获得了成功，虽然只能用在低制程芯片技术上，但是因为图形转移快捷，可以说是非常有用的一项技术了。

接下来就是真正研制光刻机了。由于一些技术难点郭东他们还是长胜精工技术部的时候就早已解决了，因此他们直接进入了设计环节。

为了最大程度的提高效率和减少氩气用量，郭东要技术员将工作台里面的活动机构的最大行程设置为5毫米。也就是说从最上面的激光到最下面的基片面只有5毫米，这个5毫米中间还有一个有缺口的托架，托架是放掩模板的平台，它只能上下移动。而那个缺口就是为微型机械臂输送掩模板用的。

掩模板至少得有一毫米厚，托架也至少得有二毫米厚，加上微型机械臂占去了一点点厚度，也就是说在输送掩模板的过程中，与上面的激光头和下面的基片上下相差不到一毫米了，玩的就是这么精密。

当然硅晶圆基片，它是最后才放进来的，而且微型机械臂是从下面输送进来的，不占用这5毫米的工作空间。

硅晶圆基片台是真正的固定，它不需要移动。唯一能上下左右移动的就是激光头。激光头不止一个，而是一排。就像刷卡一样，它只要刷一次就够了。