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第37节（第1页）

然后他又对其它人说：“你们都是熟人，我就不一一握手了，我们抓紧时间要紧。现在有范先生在这里，我们先拆开一条单晶硅棒瞧瞧，我们有什么不懂的地方好当面请教。”

“对对对，郭部长说得对，我们抓紧时间开始吧！浪费时间是可耻的。”卢汝成跟他开了个玩笑。他装着滑稽的表情说。

“哈哈哈哈！”办公室里其它的人都哄堂大笑起来。这次来的人除了范学东其他人都是熟人，以前都是郭东的手下，不过现在已经不归他管了，因此难得的放肆了一回。

但是长胜精工的技术员，却不敢笑，想笑也只能用力憋着。他们依照郭东的命令，手忙脚乱地拆开了单晶硅棒的外薄膜包装。

大家都蹲下来看，发现整根硅棒大小不一，有提拉部，颈部、生长部、尾部等。外型也不圆，外表还涂了一层可能是防氧化的油。

“看样子，只有中间这一段有用啊！”郭东指着中间那段大约20英寸直径的生长部问范学东。

“是的，就是中间这一段，也有些不合格的，不过可以作为底片。每一根加工成型的棒材都需要通过人工检测，合格的作为基片，不合格的作为底片。具体的方法就是通过高倍显微镜观测，只有晶相一致的才能作为基片。”

范学东毕竟是专业人士，他比沈丹青介绍得祥细多了，也专业得多。这全都归功于新成立的技术信息部的功劳，他们从国外搜罗了大量的科学文献和技术资料，因此各研究所的技术员，他们的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲，他们已经不弱于国内各大研究所的科学家，在某些方面甚至超过他们。谁让沈丹青成立了技术信息部这么一个专业的间谍组织呢！所以说一家企业有钱还是有点用的。

“这得多浪费啊！，可能只一半有用吧！”郭东发出了感慨。其它人也都点头，认同他的观点。

“这已经算好的啦！国外还不如我们呢！这还得归功于你们制造的单晶硅生长炉非常精密。不过你们也不要担心，剩下的我们还可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向他们解释道。

“那这些油呢？有什么清洗液吗？”郭东又指着外层的油问他。

“当然有，并且还需要清洗两次，最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后，还要烘干。”范学东又向他们科普了一番。

“啪啪啪！”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说：“好啦！大家也了解的差不多了，我刚才仔细地思考了一下，发现问题还很复杂，远远不是老板所说的几台机器那么简单。”

说完，他就走到一张画图的办公桌边，拿了一张绘图纸和一支笔，先勾画了一个抽象的草图。他指着图上的两个图案说：“我把整套设备规划成两部分，一部分是不需要的氩气环境下工作的，另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”

说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图，他拿笔指着其中一个说：“我们首先要切断，因为是大物体切断所以不需要太精密，我设想就是一台机床就可以了，反正后续还有许多加工处理步骤。不过要注意，在切断的时候要加防氧化油，把棒材的两个横载面涂抹油，目的是防止氧化。”

说完这些他就又用笔指着另外一个图案说：“切断之后就要把硅棒滚圆，使它符合硅晶圆基片的大小要求，并且保持整根棒材圆整度的一致性，在这个加工步骤中，也要加防氧化油，使整根棒材外表有油保护，防止氧化。”

说到这里，他又用笔指着另一个图标说道：“到了这一步，就必须在氩气环境内进行下一步了，因此，我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”

“等等，郭部长，清洗和烘干这两个步骤，光刻机、离子注入机和CVD机都要用到，而且你还忘了，回火这个步骤，单硅晶棒在切薄片的时候，因温度过高的原因会变形，因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士，比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。

“谢谢你的提醒！范先生。”郭东不知如何称呼他的职务，只好叫他先生了。

“没什么，我们不是一起解决问题嘛！”

范学东摇着手，客气道。

“好！既然是这样，那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体，只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。

说完他又皱起了眉头，然后像自言自语地说道：“不过这样一来，老板说的一条轨道远远不够，长长短短可能要十多条，像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”

“我想的也差不多，整套系统绝不简单，我们要把里里外外都考虑清楚了，再开始设计，尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的，还超过了他以前的顶头上司郭东，因此他没有顾虑的发表了自已的意见。

“嗯！卢总说得不错，那我们休会一个小时，大家都思考思考。”郭东作为主人，作了决定。

郭东说完，大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考，在心里描绘出整个系统的雏形，设想怎样才更合理。

“咚咚”过了一个小时，郭东准时敲响了桌子，将大家从思考中惊醒过来。

他见大家都注意到了自已就开始说道：“由于人数较多，就不一个个发言了，时间不允许。我说出我的想法，有什么不对的大家补充。”

他没等大家回答，组织了思路就开始说了：“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上，具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火，然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘，因为硅片很薄，不能用机械的方式传输，否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式，肯定不能用卡钳的方式，否则损伤更大。上胶机必须设计两部，两种不同的胶不能混和在一起，否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤，这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大，可以布置得很紧凑。

又因为各个步骤都要检测，因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭，方便使用电子显微镜检测。

我设想的大体系统架构就是这样，具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说一下。”

说完他就坐到。，将位置让了出来。

“咳咳”卢汝成见其它人都不说，就咳嗽两声，开始发言：“我认为郭部长的设想已经非常完善了，我只补充一条，还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会进行多次光刻，那么就要进行多次的上胶去胶，因此，有必要设计一个单独的去胶室。”

说完这些他就不再说了，把时间让给别人了。其实到了这一步已经非常完善了，大家没什么好补充的了。因此一下子冷场了。