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第72章 海思的疑义（第1页）

芯片的制造工艺分为前道与后道，每一道工艺都需要专门的设备来支撑。

前道工艺分为，扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、cmp、金属化。

扩撒需要的设备包含氧化炉、Rtp设备、激光退火，薄膜沉积使用的是cVd、pVd、Rtp、aLd、气相外延炉，光刻部分自然就是光刻机，同时还需要涂胶与显影。

刻蚀设备包含等离子体刻蚀、等离子体去胶、湿法刻蚀设备等；

离子注入则需要去胶机与注入机，cmp核心部分自然是相关的研磨设备，而芯片需要的cmp技术比硅片更为苛刻，金属化需要的是pVd，cVd以及电镀设备。

量测、检测、清洗贯穿整个前道工艺，而后道工艺相对门槛低些，主要包括背面减薄、晶圆切割、贴片、引线键合、磨塑、切筋、成塑、Ft做最后测试。

海思团队的大部分精力都集中在光刻机上，但为了配合生产，前后道工艺的匹配也不可能放弃。

何洪年忽然现带来的3oo人不够了，光刻机部分就已经投入了近2oo名科学家，剩下的1oo人负责前后道的相关工艺有点相形见绌，技术总监温天洋自嘲道，

“做完这个项目，这批人可以直接拖回总部那边开晶圆厂了，也不知道我们是亏了还是赚了。”

“来之前已经做好了要面对困难的准备，却错估了工作量，苏硅这边的工艺基本都是围绕45纳米芯片配套的，如果最终要生产出7纳米精密制程的芯片，有很多设备都得升级或购置新的，不过你说的没错，华芯生产出光刻机现在只是时间问题，我们早晚也会建造自己的芯片厂，这样算来的话，也不算亏！”

何洪年不是在抱怨，亏与不亏也不在他的考虑范围内，现在的关键是年前必须把光刻机改造完成，哪怕良品率低些，也不是不成，华微总部那边传来消息，不出意外的话年后米国政府便会开始全面制裁，华微最大的代工企业台鸡电会停止供应，中芯这边在7纳米这个级别的制程现在还不成熟。

温天洋继续说道，“这几天了解下来，苏硅还是有自己的优势的，特别是在cmp技术上，不比台鸡电差，而且还是自研的配方，中芯那边有意引进，但华芯这边提出了要逐步开始使用苏硅12寸芯片的要求，双方还在洽谈中。”

“何总，你有没感觉，华芯的路总对中芯态度很冷淡。”

何洪年笑道：“哈哈，你也现了，我分析大概率是因为他们的设备都是asmL的原因吧，路总对所有被卡脖子的技术都抱有警惕之心，华大九天与华芯深度绑定后，最近在新能源汽车芯片领域如鱼得水，把国外的企业全都干趴下了，老刘前两天还在打电话给我炫耀。”

“不是因为政策限制的原因吗？”温天洋对这方面没过多关注。

“政策是一个原因，主要还是苏硅把这块的生态链建起来了，联合沪硅两家在硅片供应上占据了9o%以上的份额，价格比国外的低2o%，华大九天的软件成了汽车芯片设计的选，不用都不行，中芯、苏硅、沪硅三家只认他们的软件，要改国外的需要调整的东西太多，谁都不愿麻烦。”

两人聊到这里还是次感受到不被卡脖子的那种自由，如果有一天芯片也能如此，那才是真的自由哒。

“对了，路总通知我，明天镜片就会抵达苏硅，准备工作都做好了吧？”何洪年肃然说道。

两人配合多年，彼此的默契早已形成，温天洋说道，“放心吧，镜头组这边今天还放假了，让他们好好休息下！”

“很好，虽然我不清楚路阳的具体计划，但看他胸有成竹的样子，我们早日能让设备动起来，廖老那边才能开始。”

对于其中还无法突破的技术难题，何洪年相信廖老那边应该能解决，毕竟都已经在研究euV了，就算不是降维打击，一些核心技术上的运用也不应该再是难题。

“老何，麒麟81o真的要押注这边吗？”温天洋问道。

soc芯片麒麟81o是华微明年重点布的芯片，次采用华微自研达芬奇架构npu，实现业界领先端侧aI算力，堪称华微aI芯片的“秘密武器”，目前基本设计已完成，不出意外的话是由台鸡电代工的。

达芬奇架构，是华为自研的面向aI计算特征的全新计算架构，具备高算力、高能效、灵活可裁剪的特性，是实现万物智能的重要基础。

具体来说，达芬奇架构采用3dcube针对矩阵运算做加，大幅提升单位功耗下的aI算力，每个aIcore可以在一个时钟周期内实现4o96个mac操作，相比传统的cpu和gpu实现数量级的提升。

同时，为了提升aI计算的完备性和不同场景的计算效率，达芬奇架构还集成了向量、标量、硬件加器等多种计算单元。同时支持多种精度计算，支撑训练和推理两种场景的数据精度要求，实现aI的全场景需求覆盖。

何洪年叹了口气，“付出了这么多的人力、物力、财力，花了这么多年才开的达芬奇架构，麒麟81o也会成为华微的一张名片，如果台鸡电那边没问题，那一切都好，但不得不防，他们没实力应付米国的，再多的订单也没办法。”

温天洋听懂了对方的意思，华芯这边就是一张备用牌，从现在的情况来看，很有可能备用牌会变成名牌，不知觉中，温天洋觉得压力更大了。

由于华芯这边的特殊情况，很多核心的技术他还不能直接问，这导致他心中很没底，唯一能保证的就是交给他们的任务能完美的解决，团队中很多人都不适应这种研方式，对计划提出疑义，认为这是在走弯路。

好在何洪年与温天洋多年的威信犹在，再加上廖老的招牌，才勉强统一思路，不过这种疑义并未消除，需要一次成功的技术突破才行。

温天洋也不喜欢这种感觉，但还是那句话，没有选择，就是最好的选择。